检验项目TEST ITEM |
公司内控标准 | 国家标准GB/T12022-2014 |
六氟纯度(质量分数)/ 10-2 | ≥99.9995 | ≥99.9 |
空气(质量分数)/ 10-6 | <20 | ≤300 |
四氟化碳(质量分数)/ 10-6 | <10 | ≤100 |
六氟乙烷(质量分数)/ 10-6 | <40 | ≤200 |
八氟丙烷(质量分数)/ 10-6 | <10 | ≤50 |
氟硫化合物(SO2F、SOF2、S2F10O)(质量分数)/ 10-6 | <10 | 无要求 |
水分(体积分数)/ 10-6 | ≤1.0 | ≤5.0 |
酸度(以HF计) /(质量分数) 10-6 | ≤0.1 | ≤0.2 |
可水解氟化物(以HF计)/ (质量分数)10-6 | ≤0.4 | ≤1.0 |
矿物油 | 1.0 | 4.0 |
毒性 | 无毒 | 无毒 |
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