检验项目TEST ITEM |
公司内控标准 | 国家标准GB/T12022-2014 |
| 六氟纯度（质量分数）/ 10-2 | ≥99.9995 | ≥99.9 |
| 空气（质量分数）/ 10-6 | ＜20 | ≤300 |
| 四氟化碳（质量分数）/ 10-6 | ＜10 | ≤100 |
| 六氟乙烷（质量分数）/ 10-6 | ＜40 | ≤200 |
| 八氟丙烷（质量分数）/ 10-6 | ＜10 | ≤50 |
| 氟硫化合物（SO2F、SOF2、S2F10O）（质量分数）/ 10-6 | ＜10 | 无要求 |
水分（体积分数）/ 10-6 | ≤1.0 | ≤5.0 |
| 酸度（以HF计） /（质量分数） 10-6 | ≤0.1 | ≤0.2 |
| 可水解氟化物（以HF计）/ （质量分数）10-6 | ≤0.4 | ≤1.0 |
| 矿物油 | 1.0 | 4.0 |
毒性 | 无毒 | 无毒 |
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