本系统通过中温法制氟，反应式如下：

所制得的粗品氟气通过净化除去夹带的杂质，再经过滤后压缩至贮罐贮存，经与惰性气体混合配比后输送至使用设备。

系统可以提供用户纯氟气（纯度≥99%），或用户要求浓度的氟气和其它惰性气体混合气，如氟氮混和气（例如5%、10%、20%等），系统的产能可随用户需用量设计。

系统特点

系统可组装成一体机，或按用户要求布置安放；

具备快速更换电解槽等设备接口，使检修不影响供气；

具备现场空气净化设施，即使检修或更换设备，也能保护生产现场环境。